高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，氩，氦，H2S标准气，CO标准气，O2标准气而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体;而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧;对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气;高纯气体可作为配制混合气的底气。

　　高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体。

　　常见高纯气体的用途：

　　1、 环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等;

　　2、 氯甲烷是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等;

　　3、 氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部麻醉剂;

　　4、 二甲醚可作喷气推进剂、制冷剂、麻醉剂;甲硫醇用于合成染料、医药、农药;

　　5、 乙炔可直接用于金属切割焊接、原子吸收;乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等

　　常见高纯气体：

　　一、无机高纯气体：

　　1、空气(Air)、氢气(H2)、氧气(O2)、氮气(N2)、氩气(Ar)、氦气(He)、氖气(Ne)、氪气(Kr)、氙气(Xe)等;

　　2、氨气(NH3)、氯气(Cl2)、SO2标准气、CO标准气、二氧化碳(CO2)、NO2标准气、氧化亚氮(N2O)、氧硫化碳(COS)、氯化氢(HCl)、溴化氢(HBr)、硫化氢(H2S)等;

　　3、三氟化硼(BF3)、三氯化硼(BCl3)、四氟化碳(CF4)、四氟化硅(SiF4)、　 四氯化硅(SiCl4)、六氟化硫(SF6)等

　　二、有机高纯气体

　　甲烷(CH4)、乙烷(C2H6)、丙烷(C3H8)、环丙烷(cyc-C3H6)、正丁烷(n-C4H10)、异丁烷(i-C4H10)、正戊烷(n-C5H12)、新戊烷(neo-C5H12)、氯甲烷(CH3Cl)、氯乙烷(C2H5Cl)、三氟甲烷(CHF3)、环氧乙烷(C2H4O)、砷烷(AsH3)、磷烷(PH3)、硼烷(B2H6)、硅烷(SiH4)等;